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□千級（局部百級）超凈實驗室和干燥間（濕度＜20%）； 

□雙工位/單工位手套箱、雙溫區(qū)管式爐、旋涂儀、連續(xù)印刷設(shè)備、電子束熱蒸發(fā)、紫外光刻機、探針臺、原子層沉積（ALD）、皮秒激光器、太陽能模擬器及外量子效率（EQE）等半導(dǎo)體微納加工、測試設(shè)備； 

□已建成安徽省首條大面積鈣鈦礦太陽能電池模組小試實驗室。